青岛泰斯迈仪器设备有限公司
产品特性: • 通过利用常规过程数据和专有技术重新设计了易用性 • 通过在负载锁定室中安装暗盒机构(可选)来提高生产率 • zui大基板传送尺寸为Φ300mm(在中心Φ200mm处保证了厚度分布)。 • 支持堆叠/同时溅射多个阴极 • 通过触摸屏和配方输入自动处理,节省了人工 • 可以记录数据 产品应用: • 电极成膜/多层电极及同时成膜应用 • 形成狄登膜,绝缘膜,钝化膜,保护膜等 • 用于电子零件和小规模生产的研发